時(shí)代高科研究院組織大講堂：真空泵的基本知識(shí)

真空干燥行業(yè)，真空泵的選擇影響到真空干燥的很多指標(biāo)，真空泵是如何在時(shí)代高科的的隧道式真空干燥系統(tǒng)和單機(jī)組合式真干燥系統(tǒng)中工作的呢？6月22日下午，時(shí)代高科研究院組織公司相關(guān)人員進(jìn)行了一場(chǎng)真空泵的培訓(xùn)課程，此次課程主要介紹了真空泵的基本原理、結(jié)構(gòu)、性能等知識(shí)。據(jù)了解，后續(xù)還會(huì)有一系列的課程來(lái)讓大家更深入的了解真空的相關(guān)知識(shí)。以下是此次培訓(xùn)的內(nèi)容簡(jiǎn)介：

真空泵簡(jiǎn)介

真空環(huán)境的獲得需要使用各種各樣的真空泵，它們是真空系統(tǒng)的主要組成部分.按其獲得真空方法的原理不同，可以將真空泵分為兩大類，即輸運(yùn)式真空泵和捕獲式真空泵。輸運(yùn)式真空泵采用對(duì)氣體進(jìn)行壓縮的方式將氣體分子輸送至真空系統(tǒng)之外:而捕獲式真空泵則依靠在真空系統(tǒng)內(nèi)凝集或吸附氣體分子的方式將氣體分子捕獲，排除于真空系統(tǒng)之外.與輸運(yùn)式真空泵不同，某些捕獲式真空泵在工作完畢以后還可能將己捕獲的氣體分子釋放回真空系統(tǒng)。

輸運(yùn)式泵又可細(xì)分為機(jī)械式氣體輸運(yùn)泵和氣流式氣體輸運(yùn)泵。旋轉(zhuǎn)式機(jī)械真空泵、羅茨泵以及渦輪分子泵是機(jī)械式氣體運(yùn)輸泵的典型例子，而油擴(kuò)散泵則屬于氣流式氣體運(yùn)輸泵。捕獲式真空泵包括低溫吸附泵、濺射離子泵等。

真空泵按性能、結(jié)構(gòu)和工作原理的分類

(1)按性能特點(diǎn)和用途分類

①低真空泵:此真空泵的極限壓強(qiáng)高于1.33Pa的真空泵屬于低真空泵。常見的有往復(fù)式真空泵、旋轉(zhuǎn)式真空泵、水環(huán)式真空泵、噴射式真空泵以及吸附式真空泵。

②中真空泵:極限壓強(qiáng)在10-2~1.33pa之間的真空泵屬于中真空泵。常見的有羅茨真空泵、多級(jí)噴射式真空泵等。

③高真空泵:極限壓強(qiáng)在10-6~10-2pa的真空泵屬于高真空泵。各種擴(kuò)散泵及分子泵等屬于高真空泵。

④超高真空泵:極限壓強(qiáng)低于10-6Pa的真空泵屬于超高真空泵。超高真空泵主要有離子泵、低溫泵等。

(2)按結(jié)構(gòu)特點(diǎn)分類

①機(jī)械式容積真空泵:這種泵是靠機(jī)械動(dòng)作使泵腔工作容積周期變化來(lái)實(shí)現(xiàn)抽氣作用的。如往復(fù)式真空泵、旋轉(zhuǎn)式機(jī)械泵等都屬于此類泵。

②射流式真空泵:這種泵沒有機(jī)械運(yùn)動(dòng)部件.主要靠通過(guò)噴嘴的高速射流來(lái)抽真空。屬于這類泵的有水蒸氣噴射泵、空氣噴射泵、水噴射泵以及各種擴(kuò)散泵等。

③其他類型真空泵:這類泵多屬于獲得高真空、極高真空或高純潔真空泵的泵類，如吸附泵、分子泵、離子泵、冷凝泵等。

(3)按工作原理分類 這是真空泵的基本分類方式，根據(jù)工作原理的不同各種真空泵可分為往復(fù)式、旋片式、滑閥式、機(jī)械增壓式、噴射泵、擴(kuò)散泵、分子泵、離子泵、冷凝泵等。

真空泵裝配間隙問(wèn)題

裝配間除零部件間的配合公差是極重要的參數(shù)，是直接影響真空泵性能的。前已分析過(guò)零件的精度和配合不好將會(huì)出現(xiàn)的毛底。

例如，有一臺(tái)2X-15型泵使用者反應(yīng)真空度總是抽不高預(yù)抽發(fā)現(xiàn)它運(yùn)轉(zhuǎn)正常，不漏氣，不漏油，噪聲不明顯，溫升也不厲害，只是真空度僅20格(約8*10-2托)。經(jīng)驗(yàn)證明，真空泵油太臟，油中有水分，用錯(cuò)了油，腔體內(nèi)零部件磨損，零件間配合間隙過(guò)大等均會(huì)使真空泵產(chǎn)生這種情況。

著手修理時(shí)，可先作換油處理因這種方法是最方便也最湊效的方法。往往一些泵的真空度不高換了油就解決了。如換油不往反正下一步局部拆修或全拆修也是要換油清洗的。該2X一15型泵經(jīng)換油后真空度仍在20格，故決定將它拆開檢態(tài)當(dāng)清擦干凈后，測(cè)量零部件的腔體尺寸，發(fā)現(xiàn)端面間隙4-5絲，偏丸但考慮這種間隙只要調(diào)整好油路常常是可以的，所以，在吹通油路孔后，即裝好澎由，不過(guò)仍是20格。當(dāng)?shù)诙尾痖_，檢查不垂直度(應(yīng)不大于半絲，即Q 005 mm)，發(fā)現(xiàn)欠佳于是送平面磨床將腔伽面磨去2-3絲，使轉(zhuǎn)予旋片、腔體端蓋間配合問(wèn)隙均小于2-3絲，不垂直度合格，這樣，再裝配后試抽，毛病就解決了，真空度達(dá)70格((1.5*10-2托左右)，已滿足生產(chǎn)使用。

此例說(shuō)明有些毛病是很復(fù)雜的，不仔細(xì)檢查有時(shí)是難以檢查出來(lái)魄同時(shí)，也可看出，泵零部件的配合間隙是多么重要。

以上僅就真空度不高所舉的幾個(gè)方面的例子，并未包括所有漏氣等不正常原因。當(dāng)然，真空泵油方面油量不足，油臟，油的牌號(hào)不符，混油，油中含水，因摩擦生熱使油質(zhì)太稀，因油路不通使泵腔內(nèi)沒有適量油產(chǎn)生密封油膜，閥片損壞使油在泵腔內(nèi)循環(huán)密封不好等，均會(huì)使真空度上不去。在閥片、排氣閥門方面:前所列出的一些毛病，也會(huì)使真空度無(wú)法提高。配合間隙選取和零件尺寸公差更是修泵中的關(guān)鍵要嚴(yán)加注意。另外，有些中隔板壓入式的真空泵由于壓入時(shí)的過(guò)盈量過(guò)大，使泵腔變形，也會(huì)產(chǎn)生漏氣從而使真空度下降裝配不當(dāng)，端蓋螺釘松緊不一，轉(zhuǎn)子軸心位移，旋片活動(dòng)不好或彈簧變形，摻氣閥墊圈損壞或沒有擰緊等情

況均會(huì)使機(jī)械泵的真空度很低。只要找出相應(yīng)毛病，加以處理即可修復(fù)。但要注意，必須根據(jù)具體情況和試抽時(shí)的仔細(xì)觀察，加以判斷，不要在情況或病因未明之前即魯莽從事，這樣往往易于損壞部性加大故障范圍，造成不良后果甚至報(bào)廢。