半導(dǎo)體工藝真空主要用在蒸發(fā),濺射,PECVD,真空干法刻蝕, 真空吸附,測試設(shè)備,真空清掃等等鍵合工序,半導(dǎo)體生產(chǎn)制造過程中容易產(chǎn)生易燃易爆以及有毒的物質(zhì)氣體,會對生產(chǎn)及人員安全造成威脅,因此,半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用時需要注意的幾個安全事項:
半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用時,抽取介質(zhì)過程中經(jīng)過反應(yīng)室與真空泵,其成分可能極為復(fù)雜,如SiH4與O2在泵口形成SiO2,TiCl4水解會形成HCl;假設(shè)是油封式機(jī)械泵,這些氣體物質(zhì)還可能與泵油發(fā)生化反。這些變化假設(shè)形成顆粒、可凝物或者腐蝕性介質(zhì),就可能堵塞真空泵或管路系統(tǒng),影響真空泵性能,造成壓力上升或超壓,一點(diǎn)中提到的危險性也更大。所以需要及時的清洗,并在必要的時候設(shè)置過濾設(shè)備。
半導(dǎo)體易產(chǎn)生前面所說的易燃易爆、有毒的有害氣體。所以半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用中在抽取這些介質(zhì)時就必須防止它們在真空泵內(nèi)或者排氣過程中發(fā)生一些不可控的反應(yīng)。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物質(zhì),在與空氣或氧接觸的時候,會引起燃燒甚至爆炸;氫氣在空氣中的混合比例達(dá)到一定程度與溫度時也會發(fā)生燃燒。這些都取決于該物質(zhì)的量以及與環(huán)境的壓力、溫度的關(guān)系。因此半導(dǎo)體真空泵在抽取這些介質(zhì)時,需要用氮?dú)庵惖亩栊詺怏w,在壓縮前即將這些氣體稀釋到當(dāng)時條件下的安全范圍。
空氣中的氧如果濃度過高也會發(fā)生燃燒及爆炸風(fēng)險。所以一些情況下需注意氧的濃度,采用惰性氣體來稀釋,防止?jié)舛冗^高;假設(shè)是油封機(jī)械泵可能還需要采用一些惰性的與氧相容的真空泵油,并及時更換油濾和油品。
比較容易理解這點(diǎn),半導(dǎo)體在真空泵的應(yīng)用中,有害氣體比較多,而無論是干式真空泵還是油封機(jī)械泵,泵腔內(nèi)溫度過高,高溫下易燃易爆及有毒氣體就會容易發(fā)生危險。當(dāng)我們在使用真空泵的時候,需要注意到在導(dǎo)體中的使用安全注意事項,以及后期再使用時做好操作使用。
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