爪式泵是為半導(dǎo)體工業(yè)發(fā)展而研制的,它有如下一些特點(diǎn):
1)泵腔內(nèi)無潤滑劑,因而無返油現(xiàn)象發(fā)生;
2)抽氣原件為非接觸式的可實(shí)現(xiàn)高速運(yùn)轉(zhuǎn)(3000r/min);
3)與被抽氣體接觸的表面防腐蝕耐磨損;
4)在泵腔內(nèi)氣流垂直運(yùn)動(dòng),少量的顆粒物和液體等在重力作用下易于排除;
5)該泵型式多樣,功能可以擴(kuò)展,泵的主體,帶有齒輪、馬達(dá)以及氣體凈化設(shè)備,附件有入口處防反流的閥門,出口處有截流閥,電氣監(jiān)控及報(bào)警裝置;
6)齒輪和泵軸的下軸承用PFPE油潤滑,上端蓋內(nèi)的軸承用PFPE油脂潤滑;
7)第二、三、四級(jí)均有凈化氣體入口,以改善被抽介質(zhì)順利通過泵腔,無此需要的可以不用通凈化氣體,凈化氣體用三個(gè)流量計(jì)分別調(diào)節(jié),相互都是獨(dú)立的,以保證節(jié)約惰性氣體,利用三個(gè)電磁閥可微調(diào)其流量;
8)入口防返流閥能將被抽容器與泵腔隔斷,出口處截流閥能將泵的出口封閉起來,將泵通以凈化氣體,這些閥可自動(dòng)開關(guān),真空系統(tǒng)有可靠的保護(hù),杜絕了向真空室的返流;
9)電氣監(jiān)控與操作,主要有電源,遠(yuǎn)距離操作和開關(guān)閥等的控制。當(dāng)泵出現(xiàn)故障時(shí)泵能自動(dòng)停車,兩個(gè)閥門一齊關(guān)閉或截流閥關(guān)閉。動(dòng)力和遙控有一臺(tái)變壓器和整流器,以提供所需的電流電壓,以滿足監(jiān)控過程的需要。動(dòng)力電源、繼電器用以對(duì)馬達(dá)的接通與斷開及馬達(dá)超負(fù)荷的保護(hù)。操作過程有顯示器,有按鈕控制,可控制馬達(dá)、防返流閥的控制閥和截流閥的控制閥,第二、三、四級(jí)的凈化氣體的通斷閥,惰性氣體的主閥,凈化氣體向軸封處通氣用的閥門等。故障的監(jiān)控報(bào)警或停車,系統(tǒng)安全自動(dòng)控制,也可按鈕控制。啟動(dòng)時(shí),打開凈化氣體,泵正常運(yùn)行3min,凈化氣體向各段涌入,通凈化氣體對(duì)泵性能有些影響。每當(dāng)遇到緊急情況可按自動(dòng)停車鍵,凈化氣體繼續(xù)接通,關(guān)閉入口防返流閥,各級(jí)泵凈1min,凈化結(jié)束,馬達(dá)再停車,關(guān)閉惰性氣體截止閥。
掃描二維碼
獲取最新動(dòng)態(tài)