旋片真空泵的發展歷程

旋片式真空泵是利用轉子和可在轉子槽內滑動的旋片的旋轉運動以獲得真空的一種變容機械真空泵。當采用工作液來進行潤滑并填充泵腔死隙，分隔排氣閥和大氣時，即為通常所稱的油封旋片真空泵。無工作液時，即為干式旋片真空泵，以下介紹。

在油封旋片真空泵中，國內習慣上稱皮帶傳動的為旋片真空泵，而把泵與電機直接連接或用聯軸器連接的稱為直聯旋片真空泵。在每種泵中，又有單級和雙級之分。在單級泵中，由于選用的結構形式和參數不同，泵的極限壓力和用途也不同。它們的共同特點是結構較簡單，使用方便，能從大氣壓力下起動，可直接排人大氣，偏心質量較小，維護簡便，雙級泵的極限壓力為6×10-2～l×10-2Pa，一種單級泵可達4Pa左右，另一種單級泵為50～200Pa左右。

自1909年蓋德(W.Gaede)發明旋片泵并取得德國專利，1936年又發明氣鎮泵，1941年取得專利以來，旋片真空泵得到廣泛應用和不斷完善。60年代末，國際上出現了提高轉速，直聯的小型化趨勢，70年代初出現了直聯系列產品，到80年代初，又推出了改進的系列產品，有多種可供用戶選配的附件，可以保護泵，或保護環境，泵本身結構也有改進而使可靠性提高。

在泵的結構方面，為了能在停泵時防止返油，有的設有能自動切斷油路的止回閥，有的設有進氣通道截止閥，有的為了能在泵開氣鎮運轉突然停電時自動切斷氣路來保持泵口處于真空狀態而設有油泵和控制結構。在附件方面，有消霧器、氣味過濾器、阻擋碎玻璃等雜物用的人口過濾器、灰塵過濾器、蒸汽凝結阱、化學阱，有控制泵溫以提高水蒸氣抽除率和保護泵的溫控水量調節閥。到了80年代末，90年代初，又推出了油過濾器、能監視油溫、油壓、油質等的電子顯示器，甚至可以與計算機聯結，進行自動控制，采用強制潤滑和風冷，使泵的連續工作入口壓力達10kPa，甚至更高，同一臺泵的適用范圍因而更大。

雙級旋片真空泵，可以廣泛用于冰箱、空調機、燈泡、日光燈、瓶膽生產和電子、冶金、醫藥、化工、濾油機、印刷機械、包裝機等工業，可作為擴散泵、羅茨泵、分子泵等的前級泵，供電子儀器、醫療儀器等配套和實驗研究應用。由于直聯泵沒有皮帶摩擦的粉塵的污染，體積小、重量輕、材料節約、功能日趨完善，更被廣泛推廣應用。