什么是真空泵的漏率

系指在規(guī)定條件下，一種特定氣體通過(guò)漏孔的流量。

真空泵的漏率與極限壓力有直接關(guān)系，在極限壓力下運(yùn)轉(zhuǎn)的真空泵中，它的氣體狀態(tài)已接近分子流，氣體的分子自由程較大，氣體分子不易穿透轉(zhuǎn)子與各相關(guān)零部件之間的間隙，也就是說(shuō)此時(shí)間隙對(duì)極限壓力的影響已極其微小，能影響極限壓力的因素就只有漏率了。所謂真空泵達(dá)到了極限壓力，就是滲漏進(jìn)入真空泵的氣體與真空泵抽出的氣體達(dá)到了動(dòng)態(tài)平衡，進(jìn)入了相對(duì)穩(wěn)定狀態(tài)。

真空泵漏率的測(cè)試方法有關(guān)閥測(cè)漏法和氦質(zhì)譜測(cè)漏法二種。