擴散泵油的特性及返油

對擴散泵油的要求

擴散泵油的性質(zhì)對擴散泵的抽氣性能影響特別大，因而對擴散泵油的基本要求是：

1）泵油的分子量要大；

2）為了降低泵的極限壓力，要求泵油在常溫下得飽和蒸汽壓要低；

3）為了使泵能在較高的出口壓力下工作，要求泵油在沸騰溫度下得飽和蒸汽壓應(yīng)盡可能大；

4）泵油的熱穩(wěn)定性（高溫下不易分解）和抗氧化性能（與大氣接觸時不會因氧化改變泵油的性能）要好；凝固點和低溫黏度要低；而且還要無毒、耐腐蝕、成本低。

泵油對極限壓力的影響

泵油的種類和成分對泵的極限壓力影響很大，在結(jié)構(gòu)相同的擴散泵中，如果使用3號擴散泵油，其極限壓力只能達(dá)到10-5帕；而改用275號硅油，其極限壓力能達(dá)到10-7帕，極限壓力可降低兩個數(shù)量級。

真空系統(tǒng)中被抽氣體的分壓力也隨泵油的不同而變化，這就是泵油成分所帶來的影響。例如，油擴散泵抽氣系統(tǒng)中不加特殊措施很難獲得較清潔的真空。

泵油的飽和蒸氣壓

為了獲取高真空，希望泵油在常溫下有較低的飽和蒸氣壓。同時又要求泵在較高的出口壓力下工作，希望泵油在鍋爐溫度下有較高的飽和蒸氣壓。因此，最適合擴散泵工作的泵油其飽和蒸氣壓隨溫度變化的關(guān)系曲線的斜度要大。