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                    時代高科---真空干燥?整廠輸送與倉儲系統提供商
                    
                
      
                
                
      
                
            
      
        
      
        
      
            
            
            
            
            
      
        
      
    
      

      


      
    
      
        
    
      
    
      
        
    
      
    
      
        
    
      
    
      
        
    
      
    
      
        
    
      
    
      
        
    
      

      


      
    
      
        
        
        
        
    
      

      


      
    
    

      



    
    
    
    
      
        
      
            
      
                
      真空泵在半導體制造業中的運用
      
                
      在半導體制造業中有很多種不同的真空泵。我們把它們分成兩類:初級泵和高級真空泵。初級泵有幾種用途:在腔內創造近似中級真空(壓力小于10-3托);清空多腔集成設備中接收硅片的區域(如真空鎖);為高級真空泵抽氣(見圖1).高級真空泵用來獲得壓力范圍10-3托到10-9托的高級和超高級真空。新型晶片廠中使用的現代真空泵是干性的，意味著其內部沒有任何可能回流到工藝腔中沾污硅片的油或潤滑劑。




      
            
      
        
      
    
      
    
    
    


      
    
      
        
    
      
    
      
        
      
            
            
            
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