真空泵簡介

真空環(huán)境的獲得需要使用各種各樣的真空泵，它們是真空系統(tǒng)的主要組成部分.按其獲得真空方法的原理不同，可以將真空泵分為兩大類，即輸運式真空泵和捕獲式真空泵。輸運式真空泵采用對氣體進(jìn)行壓縮的方式將氣體分子輸送至真空系統(tǒng)之外:而捕獲式真空泵則依靠在真空系統(tǒng)內(nèi)凝集或吸附氣體分子的方式將氣體分子捕獲，排除于真空系統(tǒng)之外.與輸運式真空泵不同，某些捕獲式真空泵在工作完畢以后還可能將己捕獲的氣體分子釋放回真空系統(tǒng)。

輸運式泵又可細(xì)分為機(jī)械式氣體輸運泵和氣流式氣體輸運泵。旋轉(zhuǎn)式機(jī)械真空泵、羅茨泵以及渦輪分子泵是機(jī)械式氣體運輸泵的典型例子，而油擴(kuò)散泵則屬于氣流式氣體運輸泵。捕獲式真空泵包括低溫吸附泵、濺射離子泵等。