鈦升華器的結(jié)構(gòu)

對鈦升華器的要求是：能提供所需要的鈦升華率；鈦升華率易于調(diào)節(jié)，可連續(xù)或間斷地供應吸氣劑；鈦升華器本身出氣少或易于去氣；要有足夠的工作壽命，即要有足夠的鈦儲存量。對于不同口徑、不同工作壓力的泵，要求的升華率和吸氣劑儲量差別很大，可以從每小時幾十克甚至到幾百克的升華率，上千克的儲存量。因此很難設計一種升華器滿足這樣寬的要求。通?？煞譃榈蜕A率的和高升華率的兩種升華器。

低升華率的升華器大多在小型系統(tǒng)中，用以幫助濺射離子泵啟動，或者提供較大的活性氣體抽速，通常把升華率每小時幾十毫克，吸氣劑儲量為幾克到幾十克的升華器，稱為小功率升華器。對這種升華器的主要要求是工作可靠，操作方便，結(jié)構(gòu)簡單。高升華率的升華器通常用于做主泵的系統(tǒng)中。要求升華率在每小時幾克到幾十克，特殊的也有每小時幾百克的。為保證工作壽命，儲鈦量要求盡可能的多。鈦升華器按加熱方式有電阻加熱式、熱傳導加熱式、輻射加熱式、電子轟擊加熱式等四種類型。