常用真空系統的組成與安裝

從日常生活用電燈泡的制造，到宇航模擬艙的實驗，所有真空工程中的應用設備。都是通過真空系統實現的。不同的真空應用設備，所用的真空系統是不完全一樣的，但其基本組成是類似的。圖1給出了一套典型高真空系統簡圖。從圖中可以看出，一套較完善的真空系統，應該由下列元件組成。

圖1 高真空抽氣系統簡圖

1-被抽容器;2-真空測量規管;3-主閥;4-預真空管道閥.5-前級管道閥.

6-軟連接管道；7-放氣閥；8-前級泵； 9-主泵(油擴散泵)；10-水冷障板

①被抽容器 在具體真空應用設備上統稱為真空室，沒有真空室則不能組成真空系統，只能稱為真空機組。

②抽氣設備 各種類型真空泵.

③測量裝置 各種類型真空測量儀器。

④其他元件 真空管道、閥門、捕集器、法蘭、接頭、波紋管、貯氣罐、除塵器、繼電器等。

根據不同的工藝需要，采用不同的上述各種真空元件.組成具體實用的真空系統.