常用真空系統(tǒng)的組成與安裝

從日常生活用電燈泡的制造，到宇航模擬艙的實(shí)驗(yàn)，所有真空工程中的應(yīng)用設(shè)備。都是通過(guò)真空系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)的。不同的真空應(yīng)用設(shè)備，所用的真空系統(tǒng)是不完全一樣的，但其基本組成是類(lèi)似的。圖1給出了一套典型高真空系統(tǒng)簡(jiǎn)圖。從圖中可以看出，一套較完善的真空系統(tǒng)，應(yīng)該由下列元件組成。

圖1 高真空抽氣系統(tǒng)簡(jiǎn)圖

1-被抽容器;2-真空測(cè)量規(guī)管;3-主閥;4-預(yù)真空管道閥.5-前級(jí)管道閥.

6-軟連接管道；7-放氣閥；8-前級(jí)泵； 9-主泵(油擴(kuò)散泵)；10-水冷障板

①被抽容器 在具體真空應(yīng)用設(shè)備上統(tǒng)稱(chēng)為真空室，沒(méi)有真空室則不能組成真空系統(tǒng)，只能稱(chēng)為真空機(jī)組。

②抽氣設(shè)備 各種類(lèi)型真空泵.

③測(cè)量裝置 各種類(lèi)型真空測(cè)量?jī)x器。

④其他元件 真空管道、閥門(mén)、捕集器、法蘭、接頭、波紋管、貯氣罐、除塵器、繼電器等。

根據(jù)不同的工藝需要，采用不同的上述各種真空元件.組成具體實(shí)用的真空系統(tǒng).